plasma等離子體清洗機(jī)電離不穩(wěn)定，等離子體發(fā)生器阻抗匹配不良。假設(shè)反應(yīng)腔和反應(yīng)腔(以下簡稱負(fù)載)阻抗和傳輸線的特性阻抗不相等，在傳輸過程中會發(fā)生反射，有部分能量通過發(fā)熱等方式損失，而不是所有能量都被plasma等離子體吸收，因此會直接影響等離子表面處理的效果。
      在高頻放電回路中，傳統(tǒng)的方法是在高頻放電回路與等離子腔、電極之間設(shè)置阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，依據(jù)不同的電離條件開始調(diào)節(jié)，使高頻發(fā)生器的輸出阻抗與負(fù)載阻抗相匹配，使等離子體電離穩(wěn)定，工作效率高。
幾個主要因素影響等離子清洗機(jī)匹配效果。

      與等離子發(fā)生器的配對類似，等離子清洗機(jī)的匹配器，兩者必須相互匹配，不能用小功率匹配器來適應(yīng)高功率等離子發(fā)生器。此外，為了獲得理想的等離子清洗機(jī)匹配效果，還須要注意以下幾點。
1.在設(shè)計plasma等離子體清洗機(jī)的反應(yīng)腔和電極時，應(yīng)與匹配器供應(yīng)商充分溝通，以滿足等離子體清洗機(jī)的匹配要求；
2.plasma等離子清洗機(jī)組裝匹配器時，應(yīng)盡可能接近反應(yīng)室和電極，以縮短連接，降低功耗；
3.氣流、真空度、產(chǎn)品材料和處理量等因素都會影響阻抗匹配，須要依據(jù)具體情況開始調(diào)整。
       以上三點就是plasma等離子清洗機(jī)中影響放電的匹配器的詳細(xì)介紹。