1.高真空氣動(dòng)擋板閥(GDQ)
　　通常真空等離子清洗機(jī)在短時(shí)間待機(jī)狀態(tài)下會(huì)保持真空泵處于運(yùn)行狀態(tài)，高真空氣動(dòng)擋板閥用于接通或切斷真空管路中的氣流，以實(shí)現(xiàn)真空腔體抽真空的啟動(dòng)和關(guān)閉。
　　高真空氣動(dòng)擋板由壓縮空氣作為動(dòng)力，穩(wěn)定可靠，而且維護(hù)方便，在真空等離子清洗機(jī)中被廣泛應(yīng)用。
　　2.電磁真空帶充氣閥(DDC)
　　電磁真空帶充氣閥用于真空泵隨運(yùn)行參數(shù)啟動(dòng)的真空等離子清洗機(jī)，屬于電磁閥類。當(dāng)真空泵運(yùn)行時(shí)電磁真空帶充氣閥打開，真空泵關(guān)閉時(shí)閥門線圈斷電閥門靠機(jī)械力關(guān)閉，其主要作用是防止真空泵內(nèi)油氣因真空腔體內(nèi)負(fù)壓作用而被倒吸。
　　電磁真空帶充氣閥安裝簡(jiǎn)單，但穩(wěn)定性相對(duì)較差，長(zhǎng)時(shí)間使用，閥門磁力會(huì)衰退同時(shí)復(fù)位彈簧易反應(yīng)遲緩，目前大多被應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)型真空等離子清洗機(jī)。
　　3.手動(dòng)高真空角閥
　　真空等離子清洗機(jī)所用的手動(dòng)高真空角閥通常為定制型，主要用于手動(dòng)控制真空氣路通斷、分?jǐn)鄿y(cè)壓等。通常會(huì)在角閥上焊接一個(gè)KF16接頭，以便連接真空計(jì)。
　　這種閥門在真空等離子清洗中已經(jīng)很少被應(yīng)用，主要應(yīng)用于部分實(shí)驗(yàn)設(shè)備及真空管道檢漏。

      下面，我們來(lái)說(shuō)說(shuō)真空等離子清洗機(jī)的氣路控制布局及特點(diǎn)。
　　1、常用氣路控制布局
　　真空等離子清洗機(jī)常規(guī)氣路通常包括兩路工藝氣體控制、一路破空氣體控制、一路壓縮空氣(CDA)控制。
　　2、各氣路組成部分及特點(diǎn)
　　壓縮空氣控制部分只需要?dú)怏w高壓、過(guò)濾器及帶輸出報(bào)警壓力表整套組件，不需要其他的組件。因?yàn)镃DA為部分元件的動(dòng)力氣體，只需要在氣體壓力不足時(shí)提供報(bào)警服務(wù)即可。
　　破空氣體部分是在CDA控制氣路基礎(chǔ)上增加一支大口徑的真空電磁閥，在工藝運(yùn)行結(jié)束后為真空腔體提供破真空氣體輸入服務(wù)。因?yàn)槠普婵諝怏w通常為高潔凈氣體，所以部分破真空氣路中沒(méi)有安裝過(guò)濾器。
　　工藝氣體通常為高潔凈氣體，過(guò)濾器通常也是選裝組件。工藝氣體控制部分主要包括調(diào)壓閥、過(guò)濾器、帶報(bào)警輸出報(bào)警表、真空電磁閥和質(zhì)量控制器。工藝氣體通常配置兩路，可以根據(jù)要求配置多路。
　　3、真空等離子清洗機(jī)的氣體各控制組件及進(jìn)氣順序如下：過(guò)濾器→調(diào)壓閥，帶報(bào)警輸出壓力表→真空電磁閥→質(zhì)量控制器